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宜特IC电路修补能力突破5奈米制成
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  • 2021-07-07

宜特进一步说明,电路修改最常使用的工具为FIB (Focus Ion Beam)聚焦离子束电子显微镜,是利用镓(GA+)离子源透过电场牵引成离子束,高速碰撞样品表面产生二次离、电子收集后成像;而离子轰击过程中利用注入不同气体,对晶片上各种材料进行选择性地加速或减缓蚀刻,以及沉积导电和介电绝缘材料,达到修改电路的目的,搭配CAD导航系统辅助,準确的定位目标,提高电路修补精準度。

宜特是台湾首家执行FIB电路修补的民营实验室,翻转IC设计业以往的验证模式,大幅缩短IC设计公司从概念设计到量产上市时间并节省研发经费, 宜特目前的电路修补技术不仅可完成5nm晶背电路修补外,今年更引进的最新设备,其影像解析度更由4.5nm提升至3.5nm,提高深层、微小线径及复杂电路修补的成功率,并且其介电材料有更高的电阻率(1E15 uΩ-cm),绝缘效果更加强化,挑战更先进製程。


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