通讯芯片和一般以硅元素组成的芯片相比,最大的不同在于,通讯组件,封装形式较单纯,使用层数较少,因此在找失效点前的样品制备上,不适合用delayer方式一层一层去除,因为容易也将缺陷点(defect)给去掉。
此外,通讯芯片主要原料是磷化铟(InP)、砷化镓(GaAs),特别怕酸液的侵蚀,所以样品去封胶的酸液调配就是关键,特别是不同制程的通讯芯片,配方比例就会有所不同。
完成样品制备后,该如何串接各项失效分析工具,直捣黄龙找到Bug?
以下手刀奉上两大经典通讯IC失效案例,让我们来看看,宜特如何神速为客户找到漏电源。
案例1:光通讯组件漏电,P电极端无法侦测,换个方向从N电极端下手,Hot Spot立刻现形。
光通讯组件漏电,P电极端(P-Electrode)有较厚的金属层当电极层,遮蔽了漏电源(Hot Spot) (见下图1-1)。宜特利用特殊的样品制备手法,从N电极端下手,Hot Spot立刻现形(图1-2)。
大范围的找到漏电源之后,进行更进一步显微切片分析结构观察,发现金属层与Substrate层的接合处,出现defect (图1-3),因此分析,此defect就是造成通讯组件功能衰减而有漏电。
案例2:样品制备酸液配方是关键,简单两步骤,快速找到微波通讯组件Defect
微波通讯组件在样品制备Decap时,酸液容易侵蚀样品,宜特使用独门的酸液配方,搭配精确失效分析工具选择:
先利用OBIRCH大范围抓到Hot Spot热点(图2-1)
接着使用Dual beam FIB切片后(图2-2),Defect立刻在绝缘层(Dielectric oxide)现形!发现绝缘层烧毁,使上下电极层(Electrode metal)有漏电现象。